型號

06FP601（06FP601L）

調(diào)整維數(shù)

六維

驅(qū)動(dòng)方式

測微頭

平移調(diào)整范圍

TxTyTz粗調(diào)

±6.5mm

TxTyTz微調(diào)

±0.3mm

TxTyTz精度

上下偏擺

20″

左右偏擺

10″

俯仰調(diào)整范圍

Θx調(diào)節(jié)

±5.5º

Θy調(diào)節(jié)

±2.5º

Θz調(diào)節(jié)

±2.5º

ΘxΘyΘz精度

10″