型號
02TM522(L)
調整維數
五維
驅動方式
測微頭、微調螺紋副
驅動位置
中心
導軌
線性導軌+滾柱
三維平移行程
13mm
旋轉和俯仰范圍
±5°
刻度
0.01mm
精度
0.001mm
直線度
0.003mm（單軸）
擺動誤差
<20″
自重
2.1kg
負載
25kg