型號(hào)

02TM222（L）

02TM312（L）

02TM322(L)

調(diào)整維數(shù)

XY

XYZ

XYZ

驅(qū)動(dòng)方式

微調(diào)螺紋副

測微頭

微調(diào)螺紋副

驅(qū)動(dòng)位置

中心

導(dǎo)軌

V型導(dǎo)軌+交叉滾柱

行程

25mm

刻度

---

0.01mm

---

精度

0.001mm

直線度

0.002mm（單軸）

擺動(dòng)誤差

<20″

自重

1.15kg

1.65kg

1.7kg

負(fù)載

10kg

5kg